研究人员将紧凑型光刻系统与并行3D图案化技术相结合，显著缩短半导体制造时间 技术 2026-05-30 15 2026年5月29日，德克萨斯大学奥斯汀分校科克雷尔工程学院的研究人员通过将极紫外 (EUV) 光刻系统简化为核心组件，开发出一种桌面式极紫外 (EUV) 光刻设备，生产出的设备比其他商业同类产品更模块化，成本也低得多。相关研究成果以题为“Three-D... 阅读全文
